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              北 京 源 帆 科 技 有 限 公 司 首 页 产 品 中 心 S O I 硅 片 P Z T 压 电 薄 膜 加 工 真 空 系 统 解 决 方 案 M E M S 加 工 其 他 加 工 公 司 资 质 关 于 我 们 联 系 我 们 欢 迎 访 问 北 京 源 帆 科 技 有 限 公 司 官 网 0 1 0 6 9 6 7 5 4 9 4   0 8 : 3 0 1 7 : 3 0 y h m @ y u a n f a n k e j i . c o m 首 页 产 品 中 心 S O I 硅 片 P Z T 压 电 薄 膜 加 工 真 空 系 统 解 决 方 案 M E M S 加 工 其 他 加 工 公 司 资 质 关 于 我 们 联 系 我 们 S O I 硅 片 / P Z T 真 空 系 统 定 制 M E M S 加 工 咨 询 热 线 ： 0 1 0 6 9 6 7 5 4 9 4 源 帆 科 技 A B O U T U S A B O U T U S         北 京 源 帆 科 技 有 限 公 司 是 一 家 专 业 从 事 半 导 体 、 M E M S 、 光 学 、 生 物 等 领 域 ， 相 关 芯 片 、 耗 材 产 业 的 开 发 、 制 造 、 销 售 和 服 务 于 一 体 的 企 业 。 
 成 立 于 2 0 1 5 年 ， 是 由 一 批 致 力 于 M E M S 微 细 加 工 与 测 试 的 专 业 人 才 创 办 ， 是 K S T W o r l d 公 司 长 期 授 权 的 中 国 代 理 ， 是 多 家 集 成 电 路 制 造 商 、 国 内 外 封 装 企 业 长 期 战 略 合 作 伙 伴 。 
         公 司 傍 依 于 北 京 完 善 的 产 、 学 、 研 、 用 布 局 ， 获 得 多 家 著 名 院 校 、 研 究 机 构 技 术 支 持 ， 具 备 完 善 的 创 新 研 发 能 力 。 
 公 司 可 提 供 多 条 生 产 线 并 行 研 发 ， 设 备 齐 全 ， 可 进 行 各 类 单 项 、 成 套 微 细 加 工 服 务 ， 适 合 各 类 加 工 需 求 。 
 [ M O R E + ]   质 量 可 靠 专 业 服 务 精 工 品 质 ， 值 得 信 赖 货 源 稳 定 ， 供 货 及 时 产 品 中 心 P R O D U C T S O I 硅 片 P Z T 压 电 薄 膜 真 空 系 统 解 决 方 案 M E M S 加 工 其 他 加 工 产 品 系 列 日 本 进 口 S O I 片 源 帆 科 技 是 K S T W o r l d 公 司 长 期 授 权 的 中 国 代 理 ， K S T W o r l d 公 司 是 全 球 领 先 的 氧 化 硅 片 以 及 S O I 晶 圆 制 造 商 ， 该 公 司 采 用 独 特 的 S O I 晶 圆 生 产 工 艺 ， 能 够 为 M E M S 和 功 率 半 导 体 产 品 的 制 作 提 供 埋 氧 层 厚 度 高 达 2 0 u m 的 S O I 晶 圆 。 
 另 外 ， K S T W o r l d 公 司 在 晶 圆 产 品 批 量 生 产 的 性 能 一 致 性 和 制 作 精 度 方 面 ， 具 有 优 势 。 
 C a v i t y S O I 片 C a v i t y S O I 晶 圆 对 M E M S D e v i c e 制 造 的 效 率 和 合 格 率 等 有 非 常 大 的 帮 助 ， 可 大 幅 減 少 成 本 。 
 並 且 T h i c k B O X ® S O I 晶 圆 经 本 公 司 独 有 的 超 厚 膜 热 氧 化 膜 加 工 技 术 ， 可 让 S O I 晶 圆 拥 有 前 所 未 有 的 B o x 层 厚 度 ， 可 提 早 实 现 矽 光 ( S i l i c o n P h o t o n i c s ) 与 超 高 耐 压 的 半 导 体 p o w e r d e v i c e 。 
 P Z T 压 电 薄 膜 代 加 工 日 本 进 口 P Z T 镀 膜 产 品 ， 具 有 成 膜 温 度 低 、 成 膜 速 率 快 、 成 膜 均 匀 性 好 、 压 电 系 数 高 、 疲 劳 特 性 好 等 特 点 ， 广 泛 应 用 于 M E M S 传 感 器 件 ， 在 压 电 超 声 波 传 感 器 、 压 电 换 能 器 、 压 电 执 行 器 中 得 到 越 来 越 多 的 应 用 ， 是 下 一 代 传 感 器 件 的 优 良 材 料 。 
 多 功 能 高 真 空 实 验 系 统 提 供 免 费 设 计 ， 个 性 化 专 业 定 制 服 务 ， 搭 建 高 真 空 试 验 平 台 系 统 真 空 零 配 件 目 前 已 为 国 内 各 大 研 究 院 所 、 高 校 实 验 室 以 及 真 空 设 备 领 域 企 业 大 量 供 货 ， 广 受 用 好 好 评 。 
 M E M S 加 工 掩 膜 板 设 计 加 工 制 作 ， 清 洗 、 光 刻 、 磁 控 溅 射 、 蒸 发 、 键 合 、 P E C V D 、 L P C V D 、 离 子 注 入 、 A L D 、 刻 蚀 、 深 刻 蚀 、 湿 法 腐 蚀 、 电 镀 、 T S V 深 孔 电 镀 等 在 内 的 全 流 程 系 列 工 艺 。 
 我 们 的 服 务 O u r s e r v i c e s 定 制 化 生 长 P Z T 压 电 薄 膜 批 量 S O I 晶 圆 定 制 M E M S 技 术 、 产 线 服 务 非 标 高 真 空 平 台 测 试 系 统 定 制 服 务 0 1 0 3 0 4 0 2 >   实 现 4 、 6 、 8 寸 硅 晶 圆 、 S O I 晶 圆 上 生 长 1 5 u m 厚 的 P Z T 薄 膜 ， 可 带 上 下 电 极 >   压 电 薄 膜 性 能 实 现 d 3 1 ≥ 2 0 0 p m / V ， e 3 1 ≥ 1 0 C / m 2 ， 成 膜 均 匀 性 ± 5 % ， 应 力 可 控 >   接 受 小 批 量 定 制 4 、 6 、 8 寸 S O I 片 ， 价 格 合 理 供 货 快 >   顶 硅 厚 度 ≥ 2 u m ， 背 硅 厚 度 ≤ 7 2 5 u m ， 氧 化 层 厚 度 ≤ 3 u m ， 均 可 定 制 ， T T V 最 小 可 达 到 1 u m >   基 于 S O I 传 感 器 件 的 晶 圆 流 片 解 决 方 案 >   M E M E 微 纳 加 工 设 备 的 进 口 代 理 ， 整 体 工 艺 路 线 的 解 决 方 案 > 可 根 据 客 户 要 求 ， 非 标 定 制 系 统 整 体 解 决 方 案 > 超 低 温 ， 超 高 温 ， 高 真 空 自 动 化 系 统 一 站 式 解 决 联 系 我 们 服 务 热 线 ： 0 1 0 6 9 6 7 5 4 9 4 公 司 邮 箱 ： y h m @ y u a n f a n k e j i . c o m 公 司 地 址 ： 北 京 市 怀 柔 区 湖 光 小 区 5 号 楼 2 幢 4 层 4 7 6 4 室 欢 迎 关 注 我 们 C o p y r i g h t ©   北 京 源 帆 科 技 有 限 公 司 版 权 所 有 京 I C P 备 2 0 2 1 0 0 7 1 0 2 号 1 京 公 网 安 备 1 1 0 1 1 6 0 2 0 0 0 9 1 1 号

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